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Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

BuchKartoniert, Paperback
CHF239.00

Beschreibung

This volume deals with the basic knowledge and understanding of the fundamental interactions of low-energy electrons with molecules. Recent advances in electron-molecule interaction processes are discussed and a unique up-to-date and comprehensive account of the fundamental interactions of low-energy electrons with molecules of current interest in modern technology, specially the semiconductor industry, is presented. The material provided in this volume will aid scientists and engineers working in many fields of basic and applied science and engineering. The unique and authoritative knowledge, information, and understanding it provides generically underpins advances in plasma, laser, lighting, discharge, environmental, radiation, and other technologies.
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Details

ISBN/GTIN978-1-4613-4741-5
ProduktartBuch
EinbandKartoniert, Paperback
Erscheinungsdatum21.09.2012
AuflageSoftcover reprint of the origi
Seiten781 Seiten
SpracheEnglisch
MasseBreite 155 mm, Höhe 235 mm
Gewicht1205 g
Artikel-Nr.1090677
KatalogBuchzentrum
Datenquelle-Nr.14227197
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BZ
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VLB Haupt-Lesemotiv